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泰克2635B系统数字源表 ® 源测量单元(SMU)仪器
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泰克2635B系统数字源表 ® 源测量单元(SMU)仪器


●通道:1
●最大电流源/量程:10A
●最大电压源/量程:200V
●测量分辨率电流/电压:0.1fA/100nV
●电源:200W
价格 询价

技术指标适用的条件

本文介绍了2601B、2602B和2604B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些技术 指标是测试2601B、2602B和2604B依据的标准。在出厂时,2601B、2602B和2604B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用作有 效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。

这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2601B、2602B和2604B)或数字源表CHANNEL B(2602B和2604B)终端。
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
100 mV5 μV0.02% + 250 μV20 μV
1 V50 μV0.02% + 400 μV50 μV
6 V50 μV0.02% + 1.8 mV100 μV
40 V500 μV0.02% + 12 mV500 μV

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。
仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限3:每通道最大40.4W。±40.4V@ ±1.0A,±6.06V@ ±3.0A,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声:10Hz~20MHz:<20mV 峰-峰值(典型值),<3mV RMS(典型值),6V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。最小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,最大电流 极限/柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。电流 < 10mA。

电流源技术指标

电流编程精度

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
100 nA2 pA0.06% +100 pA5 pA
1 µA20 pA0.03% +800 pA25 pA
10 µA200 pA0.03% + 5 nA60 pA
100 µA2 nA0.03% + 60 nA3 nA
1 mA20 nA0.03% +300 nA6 nA
10 mA200 nA0.03% + 6 µA200 nA
100 mA2 µA0.03% + 30 µA600 nA
1 A 520 µA0.05% + 1.8mA70 µA
3 A 520 µA0.06% + 4 mA150 µA
10 A 5, 6200 µA0.5% + 40 mA (典型值) 

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7:±(0.15 × 精度指标)/°C。
最大输出功率和源/宿极限8:每通道最大40.4W。±1.01A @ ±40.0V,±3.03A @ ±6.0V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限(柔度)。最小值10 mV。精度与电压源 相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;其他测试条件,参见 “电流源输出稳定时间”部分)。

其它电源技术指标

瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间 <70μs。
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的 时间。
100mV,1V量程:典型值<50μs
6V量程:典型值<100μs
40V量程10:典型值<150μs
电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的 时间。下列值适用于Iout × Rload = 1V,除非另行说明。
3A量程:典型值<80μs(电流小于2.5A,Rload >2Ω) 1A–10mA量程:典型值<80μs(Rload >6Ω)
1mA量程:典型值<100μs
100μA量程:典型值<150μs
10μA量程:典型值<500μs
1μA量程:典型值<2.5ms
100nA量程:典型值<25ms
直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平最高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11:
HI和SENSE HI之间的最大电压=3V
LO和SENSE LO之间的最大电压=3V

电压输出净空:
40V量程:最大输出电压=42V – 电源引线上的总压降 (每条电源引线最大1Ω)
6V量程:最大输出电压=8V – 电源引线上的总压降 (每条电源引线最大1Ω)
过温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个 100kΩ负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload (典型值,源稳定时间 设置为SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间” 部分。

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
4. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极限量程的 0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可 参考2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下 降信息。
9. 对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和 极限设定值的±0.02%。对于100mV量程,要额外增加60mV的不确定值。
10. 当在1A量程下测量时,要增加150μs。
11. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标
区域最大电流极限最大脉宽12最大占空比13
11 A @ 40 VDC,无限制100%
13 A @ 6 VDC,无限制100%
21.5A @ 40 V100ms25%
35 A @ 35 V4 ms4%
410 A @ 20 V1.8ms1%

最小可编程脉宽14,15:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的 最小脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率:1μs。
脉宽编 程精度 15:±5μs。
脉宽抖 动:2μs(典型值)。
象限图:

12. 从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。

13.在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
14.最小稳定脉宽的典型性能:

 

电源大小负载电源稳定
(量程的%)
最小脉宽
6 V2 Ω0.2%150 µs
20 V2 Ω1%200 µs
35 V7 Ω0.5%500 µs
40 V27 Ω0.1%400 µs
1.5 A27 Ω0.1%1.5 ms
3 A2 Ω0.2%150 µs
5 A7 Ω0.5%500 µs
10 A2 Ω0.5%200 µs

通常采用远端操作、4线检测和最佳、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。

15.从脉冲开始到off-time开始的时间;如下图所示。

仪表技术指标

电压测量精度16,17
量程默认显示
分辨率 18
输入电阻精度(1年)
23°C ±5° C
±(% rdg. + 伏特数)
100 mV100 nV>10 GΩ0.015% + 15 0μV
1 V1 μV>10 GΩ0.015% + 20 0 μV
6 V10 μV>10 GΩ0.015% + 1 mV
40 V10 μV>10 GΩ0.015% + 8 mV

温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)19:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

电流测量精度 17
量程默认显示分辨率 20电压负荷 21精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
100 nA100 fA<1 mV0.05% + 100 pA
1 µA1 pA<1 mV0.025% +500 pA
10 µA10 pA<1 mV0.025% + 1.5 nA
100 µA100 pA<1 mV0.02% + 25 nA
1 mA1 nA<1 mV0.02% + 200 nA
10 mA10 nA<1 mV0.02% + 2.5 µA
100 mA100 nA<1 mV0.02% + 20 µA
1 A1 µA<1 mV0.03% + 1.5 mA
3 A1 µA<1 mV0.05% + 3.5 mA
10 A 2210 µA<1 mV0.4% + 25 mA (典型值)

电流测量稳定时间(在V 之后测量稳定的时间)23: 在固定量程上处理电源设 step 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout=1V,除非另行说明。电流量程:1mA。 out 时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)24: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用普通模式,不适用于高电容模式。

接触检查25(不适合2604B)
速度60Hz(50Hz)下到
存储器的最大测量时间
精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 欧姆数)
FAST1 (1.2) ms5% + 10Ω
MEDIUM4 (5) ms5% + 1 Ω
SLOW36 (42) ms5% + 0.3Ω
其它仪表技术指标

最大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。
高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
最大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ

16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17 .对于NPLC设置<1,要通过增加误差项降低精度指标。根据下表适当 增加量程值的百分比。

NPLC设置100mV
量程
1V–40V
量程
100nA
量程
1µA–100mA
量程
1A–3A
量程
0.10.01%0.01%0.01%0.01%0.01%
0.010.08%0.07%0.1%0.05%0.05%
0.0010.8%0.6%1%0.5%1.1%

18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为100mV或1V量程。
22. 10A量程仅适用于脉冲模式。
23. 柔度等于100mA。
24. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
25. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO的接触电阻。

高电容模式26,27,28

电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到最终值的0.1% 所需的时间。电流极限=1A。

电压源量程
Cload =4.7μF的稳定时间
100 mV
200 μs (典型值)
1 V
200 μs (典型值)
6 V
200 μs (典型值)
40 V
7 ms (典型值)

电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到最终值的0.1%所需 的时间。下列值适用于Vout=1V,除非另行说明。

电压源量程
稳定时间
3 A – 1 A
<120 μs(典型值) (Rload > 2Ω)
100 mA – 10 mA
<100 μs (典型值)
1 mA
< 3 ms (典型值)
100 μA
< 3 ms (典型值)
10 μA
< 230 ms (典型值)
1 μA
< 230 ms (典型值)

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能29: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。

模式改变延迟:

100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:100GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(6V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲:典型值<400mV + 较大量程的0.1%。过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。

26. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
27. 100nA量程不适用于高电容模式。
28. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
29. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制(背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。 (不适用2604B)
线缆类型:5e类线或更高端的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.2
LXI时序:总输出触发响应时间:最小值为245μs ,典型值为280μs ,(不 指定最大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]事件延迟: 未知。
数字I/O接口(不适用2604B)

接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
绝对最大输入电压:5.25V
绝对最小输入电压:-0.25V
最大逻辑低输入电压:0.7V,最大+850μA
最小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
最大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
最大宿电流@最大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
绝对最大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA(不适用2604B)。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(绝对最大值6V) 到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳 地。当INTERLOCK信号<0.4V时(绝对最小值-0.4V),200V操作将会被 阻塞。如下图所示:

USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),最大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时, 一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in × 17 ½ in )。
台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in× 9⅜ in × 17 ½ in )。
重量:2601B:4.75kg (10.4 lbs),2602B,2604B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。
海拔:高于海平面最大2000米。
工作:0°–50°C,70% R.H.最高35°C。降低3% R.H./°C,35°–50°C。
存储:–25°C 到 65°C。

技术指标适用的条件

本文介绍了2611B,2612B和2614B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2611B,2612B和2614B依据的标准。在出厂时,2611B,2612B和 2614B符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用 作有效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2611B,2612B和 2614B)或数字源表CHANNEL B(2612B和2614B)终端:
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

 

电压源技术指标

电压编程精度1

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
200mV5 µV0.02% +375 µV20 µV
2 V50 µV0.02% +600 µV50 µV
20 V500 µV0.02% + 5 mV300 µV
200 V5 mV0.02% + 50 mV2 mV

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限3:每通道最大30.3W。±20.2V@ ±1.5A,±202V@± 100 mA,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz~20MHz:典型值<20mV(峰-峰值),典型值<3mV RMS(有效值), 20V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。最小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,最大电流 极限 /柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。(电流 < 10mA)。

电流源技术指标

电流编程精度5

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
100 n A2 p A0.06% + 100 p A5 p A
1μA20 p A0.03% + 800 p A25 p A
10μA200 p A0.03% + 5 n A60 p A
10 0μA2 n A0.03% + 60 n A3 n A
1 m A20 n A0.03% + 300 n A6 n A
10m A200 n A0.03% + 6 μA200 n A
100m A2 μA0.03% + 30μA600 n A
1 A 620 μA0.05% +1.8 m A70 μA
1.5 A 650 μA0.06% + 4 m A150μA
10 A 6,7200μA0.5% + 40 m A (典型值) 

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)8:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限9:每通道最大30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @ ±200V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度10: 单值设置双极电压极限(柔度)。最小值20 mV。精度与电压源 相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;其他测试条件,参见 “电流源输出稳定时间”部分)。

其它电源技术指标

瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。 电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。

量程
稳定时间
200 mV
<50 μs (典型值)
2 V
<50 μs (典型值)
20 V
<110 μs (典型值)
200 V
<700 μs (典型值)

电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。 下列值适用于Iout × Rload = 2V,除非另行说明。

电流量程
稳定时间
1.5 A – 1 A
<120 μs (典型值) (Rload > 6)
100 mA – 10 mA
<80 μs (典型值)
1 mA
<100 μs (典型值)
100 μA
<150 μs (典型值)
10 μA
<500 μs (典型值)
1 μA
<2 ms (典型值)
100 μA
<20 ms (典型值)

直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平最高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11
HI和SENSE HI之间的最大电压=3V
LO和SENSE LO之间的最大电压=3V

电压输出净空:
200V量程:最大输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大 1Ω)
20V量程:最大输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大 1Ω)
超温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个200kΩ 负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload(典型值,源稳定时间设置为 SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分。

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
4.对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电流极限精度指标上增加极限量程的0.06%。 技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时,每°C精度降低Vout/2E11;在<18°C或 >28°C工作时,每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15・Vout/2E11)。
6.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
7.10A量程仅适用于脉冲模式。
8. 高电容模式精度仅适用于23°C ±5°C。
9.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下,可参考 2600B系列参考手册的“工作界限(Operating Boundaries)”部分,查询其它功率下降信息。
10.对于电源宿工作模式(第II和第IV象限),要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限 设定值的±0.02%。对于200mV量程,要额外增加120mV的不确定值。
11.对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标
区域最大电流极限最大脉宽12最大占空比13
1100m A @ 200 VDC, 无限制100%
11.5 A @ 20 VDC, 无限制100%
21 A @ 180 V8.5 ms1%
3141 A @ 200 V2.2 ms1%
410 A @ 5 V1 ms2.2%

最小可编程脉宽15,16:100μs。注:对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的最小 脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率:1μs。
脉宽编 程精度 15:±5μs。
脉宽抖动:2μs(典型值)。

13.在电源宿模式下(第II和IV象限)且环境温度高于30°C时,发热受限。欲了解更多信息, 可参见参考手册中的功率方程。
14. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
15. 最小稳定脉宽的典型性能:

电源大小  负载电源稳定
(量程的%)
最小脉宽
5 V0.5Ω1%300 µs
20 V200 Ω0.2%200 µs
180 V180Ω0.2%5 ms
200 V (极限1.5 A)200 Ω0.2%1.5 ms
100 mA200 Ω1%200 µs
1 A200 Ω1%500 µs
1 A180Ω0.2%5 ms
10 A0.5Ω0.5%300 µs

通常采用远端操作、4线检测和最佳、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。

仪表技术指标

电压测量精度 17, 18
量程默认显示分辨率19输入电阻精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
200 mV100 nV>10 GΩ0.015% + 225 μV
2 V1 nV>10 GΩ0.02% + 350 μV
20 V10 nV>10 GΩ0.015% + 5 mV
200 V100 nV>10 GΩ0.015% + 50 mV

温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)20:±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

电流测量精度 18, 21
量程默认显示分辨率22电压负荷23精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 安培数)
100 nA100 fA<1 mV0.06% + 100 pA
1 µA1 pA<1 mV0.025% + 500 pA
10 µA10 pA<1 mV0.025% + 1.5nA
100 µA100 pA<1 mV0.02% + 25 nA
1 mA1 nA<1 mV0.02% + 200 nA
10 mA10 nA<1 mV0.02% + 2.5µA
100 mA100 nA<1 mV0.02% + 20 µA
1 A1 µA<1 mV0.03% + 1.5mA
1.5 A1 µA<1 mV0.05% + 3.5mA
10 A 2410 µA<1 mV0.4% + 25 mA (典型值)

电流测量稳定时间(在Vstep之后测量稳定的时间)25: 在固定量程上处理电源设置 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout= 2V,除非另行说明。电流量程:1mA。
稳定时间:<100μs(典型值)。
温度系数(0°–18°C & 28°–50°C)26: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式,不适用于高电容模式。

接触检查27 (不适合2614B)
速度60Hz(50Hz)下到存储器的最大测量时间精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 欧姆数)
FAST1 (1.2) ms5% + 10Ω
MEDIUM4 (5) ms5% + 1 Ω
SLOW36 (42) ms5% + 0.3Ω
其它仪表技术指标

最大负载阻抗:
普通模式:10nF(典型值)。高电容模式:50μF(典型值)
共模电压:250VDC。
共模隔离度:>1GΩ,<4500pF
过量程:101%的电源量程,102%的测量量程
最大检测引线电阻:额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗:>10GΩ

17. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
18. 对于NPLC设置<1,要通过增加误差项来降低精度指标。根据下表适当增加量程值的百分比。

NPLC设置200mV
量程
2V–200V
量程
100nA
量程
1µA–100mA
量程
1A–1.5A
量程
0.10.01%0.01%0.01%0.01%0.01%
0.010.08%0.07%0.1%0.05%0.05%
0.0010.8%0.6%1%0.5%1.1%

19. 适用于单通道显示模式。
20. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
21.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时,每°C精度降低Vout/2E11;在<18°C 或>28°C工作时,每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15·Vout/2E11)。
22. 适用于单通道显示模式。
23. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
24. 10A量程仅适用于脉冲模式。
25. 柔度等于100mA。
26. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
27. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻

高电容模式 28, 29, 30

电压源输出稳定时间:在固定量程上处理完源极命令后,达到最终值的0.1%所需的 时间。电流极限=1A。

电压源量
Cload =4.7μF的稳定时间
200 mV
600 μs (典型值)
2 V
600 μs (典型值)
20 V
1.5 ms (典型值)
200 V
200 ms (典型值)

电流测量稳定时间:在电压源稳定在固定量程上后,达到最终值的0.1%所需的时间。 下列值适用于Vout=2V,除非另行说明。

电流量程
稳定时间
1.5 A – 1 A
<120 μs (典型值) (Rload > 6Ω)
100 mA – 10 mA
<100 μs (典型值)
1 mA
< 3 ms (典型值)
100 μA
< 3 ms (典型值)
10 μA
< 230 ms (典型值)
1 μA
< 230 ms (典型值)

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试:5V步进与测量。200ms(典型值)@50nA。
模式改变延迟:
100μA电流量程以上:
进入高电容模式的延迟:10ms
离开高电容模式的延迟:10ms
1μA和10μA电流量程:
进入高电容模式的延迟:230ms
离开高电容模式的延迟:10ms
电压表输入阻抗:30GΩ并联3300pF。
噪声,10Hz-20MHz(20V量程):典型值<30mV 峰-峰值。
电压源量程改变过冲(用于20V量程以下):典型值<400mV + 较大量程的0.1%。
过冲进入200kΩ负载,20MHz带宽。

28. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
29. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
30. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
31. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488:兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件,TMC488协议。
RS-232:波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制 (RTS/CTS硬件或没有)可编程。
以太网:RJ-45接头,LXI Class C,10/100BT,无自动翻转功能。
扩展接口:利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和 通信。(不适用2634B)
线缆类型:5e类线或更高端的LAN交叉线。
长度:任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性:LXI Class C 1.4
LXI时序:总输出触发响应时间:最小值为245μs ,典型值为280μs , (不指定最大值)。接收LAN[0-7]事件延迟:未知。产生LAN[0-7]
事件延迟:未知。
数字I/O接口(不适用2634B)

接头:25针D型母接头
输入/输出引脚:14个开漏极I/O脚
绝对最大输入电压:5.25V
绝对最小输入电压:-0.25V
最大逻辑低输入电压:0.7V,最大+850μA
最小逻辑高输入电压:2.1V,+570μA。
最大源电流(流出数字I/O脚):+960μA。
最大宿电流@最大逻辑低电压(0.7V):-5.0mA。
绝对最大宿电流(流入数字I/O脚):-11mA。
5V电源引脚:上限为600mA,固态熔丝保护。
安全互锁引脚:有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA(绝对最大值6V)到该引脚上,以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<0.4V时(绝对最小值-0.4V),200V操作将会被阻塞。如下图所示:

USB文件系统(前部):USB 2.0主控制器:海量存储类设备。
电源:100V~250VAC,50~60Hz(自动检测),最大240 VA。
冷却:强制风冷。侧面进风,背板排风。在以机架式安装时,一侧不可阻塞。
EMC:符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性:符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸:89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 (3½ in × 8⅜ in × 17½ in )。
台面配置(带手柄和脚):104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 (4⅛ in× 9⅜ in × 17½ in )。
重量:2635B:4.75kg (10.4 lbs),2634B,2635B:5.50kg (12.0 lbs)。
工作环境:仅限于室内使用。海拔:高于海平面最大2000米。
工作:0°- 50°C,70% R.H.最高35°C。降低3% R.H./°C,35°– 50°C。
存储:–25°C 到 65°C。

技术指标适用的条件

本文介绍了2634B,2635B和2636B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2634B,2635B和2636B依据的标准。在出厂时,2634B,2635B和2636B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内,适用于23°C,仅用作有效 信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A(2634B,2635B和 2636B)或数字源表CHANNEL B(2635B和2636B)终端:
1. 23°C ±5°C,相对湿度<70%
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度(1 NPLC)
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1>

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. + 伏特数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
200 mV5 µV0.02% + 375 µV20 µV
2 V50 µV0.02% +600 µV50 µV
20 V500 µV0.02% + 5 mV300 µV
200 V5 mV0.02% + 50 mV2 mV

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限3:每通道最大30.3W。±20.2V@ ±1.5A,±202V@±100 mA,四项限源或宿操作。
电压调节:线:量程的 0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz~20MHz:典型值<20mV(峰-峰值),典型值<3mV RMS(有效值),20V量程。
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限(柔度)。最小值100pA。精度与电流源相同。
过冲:典型值<±(0.1% + 10mV)。步进值=量程的10%~90%,电阻负载,最大电流极限/柔度。
保护偏移电压:典型值 < 4mV。(电流 < 10mA)。

电流源技术指标

电流编程精度

量程编程分辨率精度(1年)
23°C ±5°C
±(% rdg. +安培数)
典型噪声
(峰-峰值)
0.1Hz–10Hz
1 nA20 fA0.15% + 2 pA800 fA
10 nA200 fA0.15% + 5 pA2 pA
100 nA2 pA0.06% + 50 pA5 pA
1 µA20 pA0.03% +700 pA25 pA
10 µA200 pA0.03% + 5 nA60 pA
100 µA2 nA0.03% + 60 nA3 nA
1 mA20 nA0.03% +300 nA6 nA
10 mA200 nA0.03% + 6μA200 nA
100mA2 µA0.03% + 30μA600 nA
1 A 520 µA0.05% +1.8 mA70μA
1.5 A 550 µA0.06% + 4 mA150μA
10 A 5, 6200 µA0.5% + 40 mA (典型值) 

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7:±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式,不适用于高电容模式。
最大输出功率和源/宿极限8:每通道最大30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @±200V,四项限源或宿操作。
电流调节:线:量程的0.01%。负载:±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限(柔度)。最小值20 mV。精度与电压源相同。
过冲:典型值<±0.1%(步进值=量程的10%~90%,电阻负载;最大电流极限/柔度。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分)。

其它电源技术指标

瞬态响应时间:当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。
电压源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。

量程
稳定时间
200 m V
<50 μs (典型值)
2 V
<50 μs (典型值)
20 V
<110 μs (典型值)
200 V
<700 μs (典型值)

电流源输出稳定时间:在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。下列值适用于Iout × Rload = 2V,除非另行说明。

电压源量程
稳定时间
1.5 A – 1 A
<120 μs(典型值) (Rload > 2Ω)
100 mA – 10 mA
<80 μs (典型值)
1 mA
<100 μs (典型值)
100 μA
<150 μs (典型值)
10 μA
<500 μs (典型值)
1 μA
<2 ms (典型值)
100 μA
<20 ms (典型值)
10 μA
<40 ms (典型值)
1 μA
<150 ms (典型值)

直流浮动电压:输出电压可以从机架地电平最高上浮到±250VDC。
远端检测工作范围10:
HI和SENSE HI之间的最大电压=3V
LO和SENSE LO之间的最大电压=3V

电压输出净空:
200V量程:最大输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大1Ω)
20V量程:最大输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降(每条电源引线最大1Ω)
超温保护:内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲:<300mV + 较大量程的0.1%(典型值)。过冲输入一个200kΩ负载,20MHz带宽。
电流源量程变化过冲:<较大量程的5% + 300mV/Rload(典型值,源稳定时间设置为SETTLE_SMOOTH_100NA)。其他测试条件,参见“电流源输出稳定时间”部分。

脉冲技术指标
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